国家/地区 中国(19)
IPC部 C(19) B(17) H(6)
G(2)
IPC大类 C01(19) B82(16) H01(6)
C23(3) B05(2) B32(2)
IPC小类 C01B(19)
IPC C01B031/04(18) B82Y040/00(12) B82Y030/00(9)
C01B031/02(7) H01L021/36(2) H01L029/16(2)
H01L033/00(2) H01L033/02(2) H01M004/38(2)
发明人 FAN S(9) JIANG K(7) LIN X(7)
GUO J(3) GUO J W(3) HE X(3)
LI J(3) LI J J(3) LI W(3)
REN J(3) SUN W(3) SUN W T(3)
WANG L(3) WEI F(3) XIANGMING H(3)
公开年 2013(13) 2012(5)
申请年 2012(19)
专利权人 UNIV TSINGHUA(19)