国家/地区 美国(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/26(9) C01B032/186(8) B82Y030/00(7)
B82Y040/00(7) C01B032/182(5) C01B032/184(4)
C23C016/46(4) C01B032/194(3) C23C016/54(3)
C01B031/04(2) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
C23C016/02(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2018(8) 2017(3)
申请年 2017(12)
专利权人