国家/地区 韩国(8) 美国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) B82(4) H01(4)
B01(2) B32(2) C23(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B031/02(8) B82B003/00(3) C01B031/04(3)
B01J019/12(2) B32B009/00(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01L051/50(2)
发明人 GON S J(2) KIM H(2) LEE S S(2)
LIM S H(2) PARK M(2)
公开年 2012(3) 2013(3) 2014(3)
申请年 2012(9)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(9)