国家/地区 日本(41)
IPC部 C(41) H(22) B(16)
G(7)
IPC大类 C01(41) H01(22) B82(10)
C23(9) B32(5) G01(5)
B01(4) C07(2) C30(2)
IPC小类 C01B(41)
IPC C01B031/02(17) B82Y040/00(9) C01B032/182(9)
C01B032/194(9) C01B032/186(8) B82Y030/00(7)
C01B031/04(6) C01B032/15(6) C01B032/18(5)
C23C016/26(5) H01B013/00(5) B32B009/00(4)
C01B032/198(4) H01L021/28(4) H01L021/336(4)
发明人 HASEGAWA M(11) YAMADA T(7) SHIMIZU T(6)
HASEGAWA MASATAKA(5) ISHIHARA M(5) KUBO T(5)
ISHIHARA MASATOU(4) KIRIHARA K(4) MUKODA M(4)
OKIKAWA Y(4) SATO S(3) WATANABE J(3)
YAMADA TAKATOSHI(3) YAMAGUCHI J(3) HO K J(2)
公开年 2021(14) 2014(7) 2016(4) 2022(4) 2015(3) 2017(2) 2023(2)
申请年 2020(9)  2013(6)  2019(6)  2014(4)  2015(4)  2021(4)  2012(3)  2017(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(41)