国家/地区 美国(25) 中国(18) 世界知识产权组织(15) 日本(12) 韩国(12) 欧洲专利局(EPO)(7) 台湾(6) 德国(5) 加拿大(4) 澳大利亚(3) 巴西(2) 印度(2) 新加坡(2)
IPC部 C(29)
IPC大类 C01(29) C23(29) H01(12)
B82(10) B01(4) C30(4)
B05(2) C04(2) C25(2)
G01(2) H05(2)
IPC小类 C01B(29)
IPC C23C016/04(29)
发明人 NAGEL C J(6) BRODEUR C L(5) BYUN K(2)
BYUN K E(2) LEE C(2) LEE C S(2)
NARKEVICIUTE I(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
SHIN K(2) SHIN K W(2) VARADARAJAN B N(2)
WANG Y(2)
公开年 2021(11) 2013(3) 2018(3) 2022(3) 2014(2) 2017(2) 2023(2)
申请年 2020(7)  2021(5)  2022(4)  2017(3)  2012(2)  2013(2)  2014(2)  2016(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(6) LAM RES CORP(2) SAMSUNG ELEC.(2)