国家/地区 中国(10)
IPC部 B(10)
IPC大类 C01(10) C23(10) H01(4)
B01(3) B22(3) B32(2)
B82(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C016/26(10)
发明人
公开年 2021(7) 2020(2)
申请年 2020(10)
专利权人