国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) C23(9) B82(4)
H01(3) B01(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/44(9)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(9)
申请年 2021(5)  2020(4) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) UNIV SINGAPO.(2)