国家/地区 美国(19)
IPC部 C(19)
IPC大类 C01(19)
IPC小类 C01B(19)
IPC C23C016/48(19)
发明人 NAGEL C J(6) BRODEUR C L(5) CHIU P(2)
QIU B(2)
公开年 2021(5) 2022(3) 2012(2) 2013(2) 2016(2) 2017(2)
申请年 2022(4)  2016(3)  2020(3)  2011(2)  2012(2)  2014(2)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(6)