国家/地区 欧洲专利局(EPO)(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/56(11)
发明人 ZENASNI A(2)
公开年 2012(2) 2021(2)
申请年 2011(2)  2021(2) 
专利权人 COMMISSARIAT.(2) SAMSUNG ELEC.(2)