国家/地区 中国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11) H01(11) B82(6)
C23(3) B32(2) B44(2)
IPC小类 C01B(11)
IPC H01L021/02(11)
发明人
公开年 2014(6) 2013(4)
申请年 2013(11)
专利权人