国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(8) C23(6)
IPC小类 C01B(8)
IPC H01L021/02(8)
发明人 LIU Z(2)
公开年 2021(8)
申请年 2021(4)  2020(3) 
专利权人 UNIV SINGAPO.(2)