国家/地区 美国(28)
IPC部 B(28)
IPC大类 C01(28) B82(26) H01(15)
B01(10) B32(6) C09(5)
B05(4) C07(4) C08(3)
C23(3) D01(3) C10(2)
C22(2)
IPC小类 C01B(28)
IPC C01B031/00(28)
发明人 AFZALIARDAKANI A(2) CHANDRA B(2) CHOI B(2)
HIROHASHI T(2) TULEVSKI G S(2)
公开年 2013(17) 2012(11)
申请年 2012(28)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3) EMPIRE TECHN.(2) INT BUSINESS.(2)