国家/地区 美国(8) 韩国(7)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) H01(7) B82(3)
C23(3) H05(3) B01(2)
G02(2)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B031/04(8) B82Y030/00(3) H01L021/02(3)
B82Y040/00(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C23C016/455(2) H01B005/14(2) H01L029/16(2)
H01L031/0224(2) H05K003/14(2)
发明人 KIM M J(2) KIM Y S(2) LEE C(2)
LEE C S(2) LEE J(2) LEE S J(2)
公开年 2017(6) 2016(3)
申请年 2016(9)
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(9)