国家/地区 中国(10) 美国(10) 世界知识产权组织(10) 韩国(8) 欧洲专利局(EPO)(6) 日本(6) 德国(2) 英国(2) 台湾(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B031/04(14)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2) ZHANG X(2)
公开年 2015(8) 2014(4) 2016(2)
申请年 2014(14)
专利权人 AIXTRON SE(2)