国家/地区 日本(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11) C23(11) B82(5)
H01(5) B01(3) C04(2)
C09(2) C30(2)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/26(11)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(7) 2014(2) 2016(2)
申请年 2014(11)
专利权人 AIXTRON SE(2)

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M