国家/地区 美国(23)
IPC部 C(23)
IPC大类 C01(23) C23(23) H01(13)
B82(8) B01(4) C30(4)
B32(3) C04(2) C08(2)
C09(2) H05(2)
IPC小类 C01B(23)
IPC C23C016/26(23)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(11) 2014(9) 2016(3)
申请年 2014(23)
专利权人 AIXTRON SE(2)