国家/地区 世界知识产权组织(19)
IPC部 C(19)
IPC大类 C01(19) C23(19) H01(9)
B82(7) B01(4) B32(3)
C04(2) C08(2) C30(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(19)
IPC C23C016/26(19)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2014(9) 2015(8) 2016(2)
申请年 2014(19)
专利权人 AIXTRON SE(2)