国家/地区 美国(23) 中国(21) 世界知识产权组织(19) 韩国(16) 日本(11) 欧洲专利局(EPO)(10) 台湾(6) 英国(3) 德国(2)
IPC部 C(43)
IPC大类 C01(43)
IPC小类 C01B(43)
IPC C23C016/26(43)
发明人 ZHANG Y(3) BI H(2) BONG H(2)
CHO K(2) HUANG F(2) JOUVRAY A(2)
SHI Y(2) TEO K B K(2) ZHANG C(2)
ZHANG X(2)
公开年 2015(24) 2014(12) 2016(7)
申请年 2014(43)
专利权人 AIXTRON SE(2) CENT ADVANCE.(2) SHANGHAI INS.(2) SHI Y(2)