国家/地区 | 中国(5) 日本(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C014/06(8)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2018(8)![]() |
申请年 | 2018(4) 2017(3) |
专利权人 |
CHU K, WANG F, HUANG D, LI Y
WANG A, LIU P, ZHANG D, GUO T, LI H, KE P