国家/地区 | 美国(12) 中国(11) 韩国(10) 世界知识产权组织(8) 日本(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 澳大利亚(3) 台湾(3) 加拿大(2) |
IPC部 |
C(23)![]() |
IPC大类 |
C01(23)![]() |
IPC小类 |
C01B(23)![]() |
IPC |
C23C016/02(23)![]() |
发明人 |
NAGEL C J(4)
BRODEUR C L(3)
NARKEVICIUTE I(2)
VARADARAJAN B N(2) WANG X(2) |
公开年 |
2021(23)![]() |
申请年 | 2020(13) 2021(9) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) LAM RES CORP(2) |
KOVI K K, SCHIRMANN E, KHAN A
ELSAYED K A M, MAAROUF A A
BURGGRAF J, JUERGEN B
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B