国家/地区 中国(11) 美国(11) 韩国(10) 世界知识产权组织(5) 日本(3) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(25)
IPC大类 C01(25)
IPC小类 C01B(25)
IPC C23C016/26(25)
发明人 LIU P(3) CHEN J(2) CHEN X(2)
DONG Y(2) IFUKU R(2) LI X(2)
MATSUMOTO T(2) YE Y(2) ZHANG Y(2)
公开年 2018(25)
申请年 2017(12)  2018(8)  2016(5) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(2)