国家/地区 | 中国(11) 美国(11) 韩国(10) 世界知识产权组织(5) 日本(3) 台湾(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(25)![]() |
IPC大类 |
C01(25)![]() |
IPC小类 |
C01B(25)![]() |
IPC |
C23C016/26(25)![]() |
发明人 |
LIU P(3)
CHEN J(2)
CHEN X(2)
DONG Y(2) IFUKU R(2) LI X(2) MATSUMOTO T(2) YE Y(2) ZHANG Y(2) |
公开年 |
2018(25)![]() |
申请年 | 2017(12) 2018(8) 2016(5) |
专利权人 | TOKYO ELECTR.(2) |
CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W
XU C, SUN J, DONG Y, XIE Y, PAN G, WANG Q, QIAN F
KATAGIRI M, SAITO T, SAKAI T, MIYAZAKI H
SEO D H, PINEDA S, MURDOCK A, HAN Z J, OSTRIKOV K, XIE M, VAN DER LAAN T
HAM M H, SON M W, MYUNGWOO S
BAE S, KIM S J, RHO H K, LEE S K, KIM T W, LEE D S, LEE S H