国家/地区 美国(9) 韩国(7) 中国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC H01L021/02(10)
发明人
公开年 2017(7) 2016(3)
申请年 2016(10)
专利权人