国家/地区 中国(37) 美国(37) 日本(26) 韩国(26) 世界知识产权组织(26) 欧洲专利局(EPO)(14) 新加坡(4) 台湾(4) 澳大利亚(3) 加拿大(3) 巴西(2) 墨西哥(2) 波兰(2)
IPC部 C(77)
IPC大类 C01(77)
IPC小类 C01B(77)
IPC C23C016/26(45) C01B031/04(28) C01B032/182(28)
C01B032/186(25) C01B032/194(17) C01B032/184(12)
H01L029/16(12) C23C016/01(11) C23C016/455(11)
C01B032/15(10) C01B032/18(10) C23C016/02(10)
B82Y030/00(9) B82Y040/00(9) H01L021/02(9)
发明人 AIDA H(5) AOTA N(5) KIM Y K(4)
LIU X(4) ZHANG J(3) BABUL T(2)
BEDWORTH P V(2) CHEN Z(2) HAN S H(2)
HEISE S E(2) HUANG Y(2) JANG B Z(2)
KIM H K(2) KIM Y(2) LEE S J(2)
公开年 2017(77)
申请年 2016(44)  2017(22)  2015(10) 
专利权人 NAMIKI SEIMI.(5) CORNING INC(3) SHANGHAI INS.(3) CHARMTRON CO.(2)
INST MECHANI.(2) JANG B Z(2) KOREA ELECTR.(2) LOCKHEED MAR.(2)
NANOTEK INST.(2) NAT INST ADV.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV HANYANG.(2)
ZHAMU A(2)