国家/地区 中国(30) 美国(14) 韩国(9) 世界知识产权组织(9) 日本(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 印度(3)
IPC部 C(54)
IPC大类 C01(54)
IPC小类 C01B(54)
IPC C01B032/186(35) C23C016/26(35) C01B032/194(11)
B82Y030/00(8) B82Y040/00(8) C23C016/02(8)
C01B032/184(7) C23C016/56(7) C01B032/182(5)
C23C016/44(5) H01L021/02(5) C01B032/198(4)
C23C014/18(4) C23C016/50(4) C23C016/511(4)
发明人 SHIN H(5) BYUN K(4) BYUN K E(4)
SHIN H J(4) SHIN K(4) SHIN K W(4)
KIM C(3) LEE C(3) LEE C S(3)
LI X(3) SONG H(3) SONG H J(3)
ZHANG Q(3) AHN S J(2) AN S(2)
公开年 2020(54)
申请年 2019(25)  2020(23)  2018(6) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) KOREA INST S.(2) SIZU TECHNO .(2) TOKYO ELECTR.(2)
UNIV TIANJIN.(2) UNIV YANGZHO.(2)