国家/地区 美国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/02(7) B82Y040/00(6) C01B031/04(6)
B82Y030/00(5) H01B013/00(5) B32B009/00(3)
H01B005/14(3) H05B033/28(3) C01B031/00(2)
C23C016/26(2) G06F003/041(2) G06F003/044(2)
G06F003/045(2) H01B005/00(2) H01L021/28(2)
发明人 CHOI J(2) SHIN H(2) YOON S(2)
公开年 2012(11)
申请年 2012(7)  2011(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)