国家/地区 美国(25)
IPC部 C(25)
IPC大类 C01(25)
IPC小类 C01B(25)
IPC C23C016/04(25)
发明人 NAGEL C J(6) BRODEUR C L(5) BYUN K(2)
BYUN K E(2) LEE C(2) LEE C S(2)
NARKEVICIUTE I(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
SHIN K(2) SHIN K W(2) VARADARAJAN B N(2)
公开年 2021(11) 2013(3) 2022(3) 2014(2) 2023(2)
申请年 2020(7)  2021(5)  2022(4)  2012(2)  2013(2)  2014(2)  2017(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(6) LAM RES CORP(2) SAMSUNG ELEC.(2)