国家/地区 中国(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/04(9)
发明人 WANG Y(2)
公开年 2021(3) 2013(2)
申请年 2013(2)  2020(2) 
专利权人