国家/地区 日本(13)
IPC部 B(13)
IPC大类 C01(13)
IPC小类 C01B(13)
IPC C23C016/44(13)
发明人
公开年 2013(3) 2011(2) 2015(2) 2021(2)
申请年 2011(2)  2012(2)  2014(2) 
专利权人