国家/地区 美国(51) 中国(40) 韩国(38) 世界知识产权组织(30) 日本(19) 欧洲专利局(EPO)(17) 台湾(10) 澳大利亚(3) 加拿大(3) 德国(3) 新加坡(3) 巴西(2) 印度(2) 墨西哥(2) 土耳其(2)
IPC部 C(82)
IPC大类 C01(82)
IPC小类 C01B(82)
IPC C23C016/44(82)
发明人 NAGEL C J(6) BRODEUR C L(5) LEE J(4)
LEE Y(4) MATSUMOTO T(4) CHOI J(3)
CHOI J Y(3) IFUKU R(3) JEON S(3)
LI J(3) LIM J(3) PARK J G(3)
SHIN H(3) SHIN H J(3) WADA M(3)
公开年 2021(12) 2022(10) 2014(9) 2013(8) 2015(8) 2011(6) 2012(5) 2017(5) 2018(5) 2020(5) 2016(4) 2023(4)
申请年 2021(12)  2012(9)  2013(8)  2014(8)  2016(7)  2019(7)  2020(7)  2022(6)  2010(5)  2015(5)  2011(4)  2017(2)  2018(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(6) SAMSUNG ELEC.(6) TOKYO ELECTR.(4) DAEJOO ELECT.(3)
UNIV SINGAPO.(3) AIXTRON SE(2) CALIFORNIA I.(2) CORNING INC(2)
KOREA ADV IN.(2) KOREA ADVANC.(2) KOREA INST S.(2) UNIV SUNGKYU.(2)
UNIV SUNGKYU.(2)

LIM J C, LEE J, JEON Y M, LIM S W, PARK J G, LEE H S, LIM H H, NAM S J, LEE E, LIM J, HYUN L J, IMSUNGWOO, HEE L, JIN N, PARK S