国家/地区 世界知识产权组织(19)
IPC部 C(19)
IPC大类 C01(19)
IPC小类 C01B(19)
IPC C23C016/26(19)
发明人 THOMAS S(3) GUINEY I(2) JOUVRAY A(2)
TEO K B K(2) VAN RIJN R(2)
公开年 2015(4) 2013(3) 2012(2) 2014(2) 2017(2) 2018(2) 2021(2)
申请年 2013(5)  2014(5)  2017(3)  2020(2) 
专利权人 AIXTRON SE(2) PARAGRAF LTD(2) RIJKSUNIV LE.(2)