国家/地区 美国(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/26(8) C01B032/186(5) C01B032/182(4)
H01L029/16(4) C01B032/184(3) C01B032/194(3)
H01L021/02(3) H01L029/786(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/02(2) C23C016/34(2)
H01L029/06(2)
发明人 JANG B Z(2) LEE S(2) LIN Y(2)
PARK J(2) PARKJAEHYUN(2) ZHAMU A(2)
公开年 2018(5) 2019(4) 2020(3)
申请年 2018(12)
专利权人 KOREA INST S.(2) NANOTEK INST.(2)