国家/地区 美国(18)
IPC部 C(18)
IPC大类 C01(18)
IPC小类 C01B(18)
IPC C23C016/26(11) C01B032/186(9) C01B032/182(8)
B82Y030/00(7) B82Y040/00(6) C01B032/184(5)
C01B032/194(4) H01L029/16(4) C01B031/04(3)
C23C016/46(3) H01L021/02(3) C01B032/15(2)
C01B032/18(2) C01B032/198(2) C01B032/205(2)
发明人 LI X(2) LIN Y(2) LIU P(2)
公开年 2018(18)
申请年 2017(10)  2018(5)  2016(3) 
专利权人