国家/地区 美国(7) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 韩国(5) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C01B(16)
IPC C23C016/26(12) C01B032/186(11) C23C016/02(5)
H01L021/02(5) H01L021/205(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B032/182(3) C23C016/511(3)
C23C016/56(3) H01L029/16(3) C01B032/18(2)
C01B032/194(2) C23C016/50(2) C23C016/513(2)
发明人 SHIN H(4) BYUN K(3) BYUN K E(3)
SHIN H J(3) SHIN K(3) SHIN K W(3)
SONG H(3) SONG H J(3) IFUKU R(2)
KIM C(2) LEE C(2) LEE C S(2)
LEE E(2) MATSUMOTO T(2) RYOTA I(2)
公开年 2020(16)
申请年 2019(11)  2020(4) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) TOKYO ELECTR.(2)