国家/地区 世界知识产权组织(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C01B(16)
IPC C23C016/26(11) C01B032/186(9) H01L021/205(5)
C23C016/02(4) B82Y040/00(3) C01B032/182(3)
C01B032/184(3) C23C016/44(3) C23C016/54(3)
H01L021/02(3) H01L021/285(3) H01M004/36(3)
H01M004/38(3) H01M004/587(3) H01M004/62(3)
发明人 MATSUMOTO T(4) WADA M(4) IFUKU R(3)
HEE L(2) HYUN L J(2) IMSUNGWOO(2)
JEON Y M(2) KABUKI N(2) LEE H S(2)
LIM H H(2) LIM J(2) LIM J C(2)
LIM S W(2) NAVEH D(2) PARK J G(2)
公开年 2022(16)
申请年 2021(8)  2022(8) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(5) APPLIED MATE.(2) DAEJOO ELECT.(2) UNIV BARILAN(2)