国家/地区 美国(17) 世界知识产权组织(11) 中国(9) 日本(8) 韩国(8) 欧洲专利局(EPO)(7) 法国(3) 英国(2) 新加坡(2) 台湾(2)
IPC部 C(27)
IPC大类 C01(27)
IPC小类 C01B(27)
IPC C01B031/04(16) C01B031/02(15) C30B029/02(15)
B82Y040/00(14) B82Y030/00(12) C23C016/26(8)
H01L021/02(6) H01L029/16(5) C30B025/00(4)
C30B025/18(4) C01B032/184(3) C23C016/02(3)
C30B025/02(3) C30B029/64(3) C30B029/68(3)
发明人 BERRY V(2) KELBER J(2) OUERGHI A(2)
SEACRIST M R(2)
公开年 2013(27)
申请年 2012(13)  2013(8)  2011(6) 
专利权人 CENT NAT REC.(3) CNRS CENT NA.(2) KELBER J(2) MEMC ELECTRO.(2)
SUNEDISON SE.(2) UNIV KANSAS .(2) UNIV NORTH T.(2)