国家/地区 美国(12) 中国(11) 韩国(10) 世界知识产权组织(8) 日本(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 澳大利亚(3) 台湾(3) 加拿大(2)
IPC部 C(23)
IPC大类 C01(23)
IPC小类 C01B(23)
IPC C23C016/02(23)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) NARKEVICIUTE I(2)
VARADARAJAN B N(2) WANG X(2)
公开年 2021(23)
申请年 2020(13)  2021(9) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) LAM RES CORP(2)