国家/地区 中国(56) 美国(39) 韩国(30) 世界知识产权组织(27) 日本(23) 欧洲专利局(EPO)(14) 台湾(10) 印度(7) 澳大利亚(5) 加拿大(4) 英国(4) 巴西(3) 德国(3) 法国(2) 俄罗斯(2)
IPC部 C(111) B(47) H(41)
G(7) A(2) F(2)
IPC大类 C01(111)
IPC小类 C01B(111)
IPC C23C016/26(60) C01B032/186(49) C01B032/194(36)
C23C016/02(23) B82Y040/00(18) B82Y030/00(17)
C01B032/184(15) C01B032/198(13) C23C016/44(12)
C23C016/04(11) C23C016/52(11) C23C016/56(10)
C01B032/182(9) C23C016/455(9) H01L021/02(9)
发明人 WANG X(6) LIU Z(4) NAGEL C J(4)
BRODEUR C L(3) BYUN K(3) BYUN K E(3)
HUANG S(3) LEE C(3) LEE C S(3)
LEE E(3) LI C(3) LI L(3)
LI X(3) SHIN H(3) SHIN H J(3)
公开年 2021(111)
申请年 2020(49)  2021(44)  2019(18) 
专利权人 BEIJING GRAP.(4) QUANTUM ELEM.(4) SAMSUNG ELEC.(3) TOKYO ELECTR.(3)
UNIV PEKING(3) BAE SYSTEMS .(2) DAEJOO ELECT.(2) LAM RES CORP(2)
NAT INST ADV.(2) NINGBO INST .(2) PARAGRAF LTD(2) UNIST ULSAN .(2)
UNIV SINGAPO.(2) XI AN SPECIA.(2) YAZAKI CORP(2)