国家/地区 韩国(13) 美国(13) 中国(12) 世界知识产权组织(7) 日本(2)
IPC部 C(35) H(23) B(10)
IPC大类 C01(35)
IPC小类 C01B(35)
IPC C23C016/26(23) C01B032/186(18) C23C016/02(10)
C01B032/194(8) H01L021/02(8) C01B032/184(6)
C23C016/505(5) H01L021/285(5) B82Y040/00(4)
C01B032/182(4) C23C016/01(4) C23C016/44(4)
C23C016/455(4) C23C016/56(4) H01L021/768(4)
发明人 LEE C S(4) LEE C(3) SHIN K(3)
SHIN K W(3) BYUN K(2) BYUN K E(2)
ELSAYED K A M(2) KIM K(2) MAAROUF A A(2)
NAVEH D Y(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
WANG H(2) ZHANG L(2)
公开年 2023(35)
申请年 2022(23)  2021(10)  2023(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) 2D GENERATIO.(2) UNIV BARILAN(2) UNIV IMAM AB.(2)