国家/地区 中国(33)
IPC部 C(33) B(14) H(12)
F(2)
IPC大类 C01(33)
IPC小类 C01B(33)
IPC C01B031/04(30) C23C016/26(21) C01B032/186(10)
C01B031/02(9) B82Y030/00(7) C23C016/02(7)
C01B032/182(6) C23C016/44(6) C23C016/56(6)
B82Y040/00(5) C01B032/16(4) C01B032/18(4)
C23C016/01(4) C23C016/46(4) B82B003/00(3)
发明人 ZHANG Y(3) BI H(2) CHOI M(2)
FAN S(2) HUANG F(2) JIANG K(2)
JOUVRAY A(2) JUNG M(2) LIN X(2)
LIU P(2) MOON J(2) SHI Y(2)
TEO K B K(2) WANG J(2) WANG W(2)
公开年 2015(20) 2014(10) 2016(3)
申请年 2014(33)
专利权人 AIXTRON SE(2) FAN S(2) HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2)
JIANG K(2) LG ELECTRONI.(2) LIN X(2) LIU P(2)
SHANGHAI INS.(2) SHI Y(2) UNIV TSINGHU.(2) WUXI GEFEI E.(2)
WUXI GRAPHEN.(2)