国家/地区 中国(21)
IPC部 C(21) B(8) H(8)
G(2)
IPC大类 C01(21) C23(10) H01(8)
B82(5) B01(4) G01(2)
IPC小类 C01B(21)
IPC C01B031/04(21)
发明人 BI H(3) HUANG F(3) ZHANG X(3)
DENG K(2) JOUVRAY A(2) LI Z(2)
LIU Z(2) TEO K B K(2) YANG H(2)
ZHANG W(2) ZHANG Y(2) ZHANG Z(2)
公开年 2015(13) 2014(4) 2016(4)
申请年 2014(21)
专利权人 SHANGHAI INS.(3) AIXTRON SE(2) CHANGZHOU 2D.(2)