国家/地区 中国(56)
IPC部 C(56)
IPC大类 C01(56)
IPC小类 C01B(56)
IPC C23C016/26(28) C01B032/186(20) C01B032/194(20)
C23C016/02(11) C01B032/184(9) C01B032/198(8)
B82Y030/00(7) B82Y040/00(7) C23C016/56(7)
B22F001/02(6) C01B032/182(6) C23C014/02(6)
C23C016/04(6) C23C016/455(6) C23C016/52(6)
发明人 WANG X(6) LIU Z(4) HUANG S(3)
LI C(3) LI X(3) XU S(3)
BI C(2) CAO F(2) JIN Y(2)
LI L(2) LI Y(2) LI Z(2)
LIU J(2) LIU M(2) LU Y(2)
公开年 2021(56)
申请年 2021(30)  2020(22)  2019(4) 
专利权人 BEIJING GRAP.(4) UNIV PEKING(3) LAM RES CORP(2) NINGBO INST .(2)
UNIV SINGAPO.(2) XI AN SPECIA.(2)