国家/地区 德国(14)
IPC部 C(14) H(11) B(7)
IPC大类 C01(14) H01(11) C23(9)
B82(6) B05(2) B32(2)
H02(2)
IPC小类 C01B(14)
IPC C01B032/186(14)
发明人 THOMAS S(5) GUINEY I(4) TEO K B K(3)
DIXON S(2) JOUVRAY A(2) TAYLOR M(2)
TYLER M(2) WALLIS R(2)
公开年 2021(4) 2013(3) 2022(3) 2017(2)
申请年 2020(3)  2013(2)  2014(2)  2016(2)  2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(5) AIXTRON SE(3)