国家/地区 欧洲专利局(EPO)(14)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(14)
IPC小类 C01B(14)
IPC C23C016/26(9) C01B032/186(5) C01B032/194(5)
C23C016/02(5) C23C016/44(4) C01B032/182(3)
C23C016/04(3) C23C016/56(3) H01L021/02(3)
H01M004/04(3) H01M004/36(3) H01M004/38(3)
B01D067/00(2) B01D071/02(2) B01J019/08(2)
发明人
公开年 2021(14)
申请年 2020(9)  2021(4) 
专利权人