国家/地区 日本(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(6) B01(2)
B82(2)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B031/02(5) H01L029/786(5) H01L021/336(4)
H01L029/06(4) B82Y040/00(2) H01B001/04(2)
H01L021/28(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2)
发明人 OKAI M(8)
公开年 2010(2) 2011(2)
申请年 2010(4) 
专利权人 HITACHI LTD(6) OKAI M(3) HIROOKA M(2) HITACHI CHEM.(2)
WADA Y(2)