国家/地区 |
日本(8)![]() |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)
H01(6)
B01(2)
B82(2) |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C01B031/02(5)
H01L029/786(5)
H01L021/336(4)
H01L029/06(4) B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/28(2) H01L029/16(2) H01L029/40(2) |
发明人 |
OKAI M(8)![]() |
公开年 | 2010(2) 2011(2) |
申请年 | 2010(4) |
专利权人 |
HITACHI LTD(6)
OKAI M(3)
HIROOKA M(2)
HITACHI CHEM.(2)
WADA Y(2) |
MAKOTO O, YOSHIAKI K, OKAI M, KURIHARA Y
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S