国家/地区 日本(33)
IPC部 C(33)
IPC大类 C01(33) H01(22) B82(17)
B05(9) B32(8) B01(6)
C07(4) C23(4) C08(3)
B44(2) C30(2) H05(2)
IPC小类 C01B(33)
IPC C01B031/04(26) C01B031/02(23) B82Y030/00(12)
B82Y040/00(12) C01B031/00(11) H01B001/04(7)
B05D003/02(5) H01L021/28(5) H01L029/06(5)
H01L029/16(5) H01L029/786(5) B32B009/00(4)
H01L021/3205(4) H01L023/52(4) H01L051/05(4)
发明人 AWANO H(3) OOTA N(3) GILJE(2)
GILJE S S(2) HIROOKA M(2) HIURA H(2)
JWILYE E S(2) KANAYAMA T(2) KAWASHIMA Y(2)
KOSYNKIN D(2) KOSYNKIN D V(2) LEE J(2)
OKAI M(2) TADA T(2) TOUR J(2)
公开年 2010(33)
申请年 2009(17)  2010(10)  2008(6) 
专利权人 DOKURITSU GY.(3) HITACHI MAXE.(3) FUJITSU LTD(2) GILJE S S(2)
HITACHI LTD(2) KAWASHIMA Y(2) NEC CORP(2) NORTHROP GRU.(2)
UNIV RICE WI.(2)