国家/地区 中国(6) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C04(9)
IPC小类 C04B(9)
IPC B82Y030/00(2) C23C018/12(2) C25D015/00(2)
H01L021/02(2)
发明人 YANG X(2)
公开年 2021(9)
申请年 2021(5)  2020(3) 
专利权人