国家/地区 中国(12) 美国(6) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C01B(16)
IPC C01B032/198(16)
发明人 YAMAKAJI M(2) ZHANG C(2)
公开年 2018(5) 2021(3) 2016(2) 2019(2)
申请年 2017(3)  2021(3)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)