国家/地区 中国(10) 美国(5) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2)
IPC部 B(11)
IPC大类 C23(11)
IPC小类 C23C(11)
IPC C23C016/26(11)
发明人 YANG Y(2) ZHANG J(2)
公开年 2016(3) 2020(2) 2021(2)
申请年 2021(3)  2016(2)  2020(2) 
专利权人