国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C30(7) C01(5) B82(4)
H01(4) C23(3) G01(2)
IPC小类 C30B(7)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) C01B032/184(3)
C30B029/02(3) H01L029/16(3) C01B032/182(2)
C01B032/23(2) C30B001/02(2) C30B025/18(2)
C30B029/64(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2018(5) 2017(2)
申请年 2017(7)
专利权人