国家/地区 中国(15) 美国(5) 韩国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(24)
IPC大类 C30(24) H01(8) C01(6)
C23(4) B82(2) C07(2)
IPC小类 C30B(24)
IPC C30B029/02(11) C30B029/40(5) C30B025/18(4)
C30B029/06(4) H01L021/02(4) C01B032/194(3)
C30B007/14(3) C30B025/00(3) C30B029/60(3)
B82Y040/00(2) C01B032/186(2) C23C014/06(2)
C23C016/30(2) C30B025/02(2) C30B033/10(2)
发明人 WANG W(3) JANG B Z(2) JU Q(2)
LI X(2) MA Y(2) WANG J(2)
ZHANG S(2)
公开年 2019(12) 2020(8) 2021(4)
申请年 2019(24)
专利权人 GLOBAL GRAPH.(2) NANOTEK INST.(2) SHANGHAI INS.(2) UNIV PEKING(2)